NF240-Z直線電機平臺應(yīng)用于Z軸
采用直線電機
具有精度高，負載大、速度快等優(yōu)點
帶配重平衡和導(dǎo)軌剎車
NF240-Z直線電機平臺應(yīng)用于Z軸
采用直線電機
具有精度高，負載大、速度快等優(yōu)點
帶配重平衡和導(dǎo)軌剎車
| 參 數(shù) | NF240-Z100 | -Z200 |
| 有效行程 mm | 100 | 200 |
| 光柵分辨率 nm | sin\cos 4.88nm（可選其他更高分辨率） | |
| 重復(fù)定位精度 | ±150nm | |
| 定位精度 | ±300nm | |
| 平面度 μm | ≤±2.5 | ≤±3.5 |
| 直線度 μm | 1.5 | 2 |
| 電機類型 | 雙直線電機驅(qū)動 | |
| 電機推力 | 額定60N/峰值210N | 額定120N/峰值420N |
| 最小步長 | 50nm（搭配nanopwn或者線性驅(qū)動器） | |
| 最大速度 | 300mm/s | |
| 最大負載 | 25kg（采用氣動恒力彈簧平衡） | |
