體積小巧、動態(tài)優(yōu)異、超高精度、免維護、壽命長
MMS42系列微型直線平臺：
采用了特殊定制的音圈電機，結合高分辨率光柵和精密交叉滾柱導軌,
特別適合一些對體積非常敏感的應用場景；
采用靜音防蠕動導軌，可確保微小步距控制,
使用指定驅動器時，在實驗室環(huán)境下，速度的測試數據波動低于1‰；
有非常優(yōu)秀的動態(tài)性能及超高的精度；
使用壽命超長，長時間免維護使用。
| 參數/型號 | MMS42 | ||
| 電機類型 | 音圈電機 | ||
| 光柵類型 | 增量式光柵0.1μm(可選最高1nm光柵，絕對值選配) | ||
| 電機推力 | 額定1N；峰值2.5N | ||
| 加速度（空載） | 4G | ||
| 材質 | 鋁合金6016-T6（可選不銹鋼） | ||
| 行程 mm | 20 | ||
| 最小步長 nm | 20nm（光柵分辨率高于4.88nm） | ||
| 定位精度 μm | ±1μm(校準±0.5μm） | ||
| 重復定位精度 μm | ±0.1μm(±50nm對應5nm以上光柵） | ||
| 最大速度 mm/s | 200 mm/s | ||
| 最大負載 kg | 1kg | ||
