氣浮平臺(tái)采用氣浮導(dǎo)軌，無接觸，不摩擦，免維護(hù)、精度高、速度快等有優(yōu)異的特點(diǎn)；
此直線平臺(tái)可以按單軸使用，亦可搭配其他軸，組合成多軸平臺(tái)機(jī)構(gòu)，
廣泛應(yīng)用于精密加工，測試測量，掃描、半導(dǎo)體等行業(yè)。
ABL250-X系列氣浮平臺(tái)相較于前兩種經(jīng)濟(jì)型磁力預(yù)載氣浮臺(tái)，體積更小，精度更高；
采用氣浮導(dǎo)軌+直線電機(jī)+光柵尺反饋組合而成；
特點(diǎn)：精度高、速度快、載荷相對(duì)較大、直線度和平面度高。
只要?dú)庠吹燃?jí)達(dá)到，非常適用于無塵室環(huán)境中
| 參 數(shù) | ABL250-100 | -200 | -300 | -400 | -500 | -600 |
| 有效行程 mm | 100 | 200 | 300 | 400 | 500 | 600 |
| 光柵分辨率 μm | 5nm（模擬量）可選配其他型號(hào)光柵分辨率 | |||||
| 重復(fù)定位精度 nm | ±50 | ±50 | ±100 | ±150 | ±200 | ±250 |
| 定位精度 | 2μm/100mm（校準(zhǔn)后可小于0.3μm/100mm） | |||||
| 平面度 μm | ±0.4 | ±0.6 | ±1 | ±1.5 | ||
| 直線度 μm | ±0.4 | ±0.5 | ±0.6 | ±0.75 | ±1 | ±1.5 |
| 最大速度 mm/s | 2m/s | |||||
| 最大加速度（空載） | 2G | |||||
| 水平負(fù)載 kg | 35kg | |||||
| 水平負(fù)載 kg | 20kg | |||||
